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随着半导体制程技术的飞速发展,芯片线宽已经进入纳米级,相应的产品对半导体产品生产环境的要求越来越高,因此半导体洁净室内AMC的控制标准也提高了很多。1、洁净室新风控制:在MAU内加装化学过滤器,控制室外新风中的化学污染物;2、洁净室循环风控制:在FFU上方加装化学过滤器,控制整个洁净室内部的气态化学
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